高精度球面反射镜
高精度球面反射镜常用于二次曲面反射镜反射波前的干涉零位测量光路,是高精度非球面反射镜加工的核心检具,直接决定了待加工二次曲面发射镜面形精度。采用古典抛光、高精度离子束抛光等技术,加工工艺成熟,技术指标高。
技术参数
项目 | 指标 | |
---|---|---|
可加工材料 |
可见光玻璃、微晶、石英 |
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口径 | Φ20mm~Φ450mm | |
面型精度 |
典型指标 |
PV优于λ/5 RMS优于λ/50 |
可实现指标 |
PV优于λ/10 RMS优于λ/100 |
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光洁度 |
典型指标 |
优于V级 |
可实现指标 |
优于III级 | |
备注 |
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