衍射面光学元件
衍射面元件在校正单色像差的同时还可以校正宽光谱色差、减小系统热差，是简化光学系统设计、提升光学系统透过率，实现光学系统轻小型化设计的有效手段。采用单点金刚石车削及原位激光辅助车削定制加工技术，加工工艺成熟，技术指标高。
技术参数
| 项目 | 指标 | |
|---|---|---|
| 可加工材料 |
硅、锗 |
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| 口径 | Φ10mm~Φ100mm | |
| 浮雕深度 |
误差值≤0.005μm |
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| 换带位置 |
误差值≤0.01mm |
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| 面型精度 |
典型指标 |
PV 优于0.5μm |
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可实现指标 |
PV 优于0.3μm |
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| 光洁度 |
典型指标 |
优于V级 |
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可实现指标 |
优于III级 | |
| 备注 |
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